二手 CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #293811829 待售

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于高通量处理和一致的纳米级膜沉积。该设备采用一个带有密封门的石英反应堆单室，其中装有高精度晶圆纺丝工艺。S-200能够精确控制温度、反应性气流和压力参数，实现一致的实验重复性。S-200利用30-450°C的温度范围，0-20 Torr的压力范围，以及150-750 mm反应堆能够选择的反应气体。石英反应堆室容纳基片晶片、自旋电动机和线性/ms吹扫执行器。反应堆腔室内的一种双熔炉设计允许同时使用两种材料，以及对反应物的精确控制。自旋电动机可提供8-20K rpm的自旋速率,从而实现快速沉积时间和精确的厚度控制。反应堆室内有四个气体进气口。用户可以从两个进气口选择反应气体，允许对不同类型的反应物进行双重实验。高精度晶片纺丝工艺可以快速、均匀地沉积材料，而不需要纺丝基材来加快工艺。旋转后，S-200从反应堆腔室排出未反应气体，降低残留反应物反应性，降低薄膜不均匀性。S-200提供了许多实用程序功能,同样非常适合研发和生产环境。该系统还包括一个功能强大的图形用户界面（GUI），用于配置反应堆参数、定义工艺区、设置批运行以及监控沉积历史。集成的管理和报告工具使用户可以监控实验输出和单元性能,以及文档研究运行。机器的用户友好型设计使得访问详细的工艺数据变得容易，CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200允许快速的数据分析和操作。萨凡纳S-200是一种可靠、精确的CVD反应器，非常适合纳米级薄膜沉积。该反应堆提供了快速的加工时间、可选的反应气体以及广泛的温度范围，使其成为高通量研究和生产应用的理想选择。