二手 CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #9365906 待售

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 Reactor是一种等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备，设计用于先进的微器件制造。此工具能够以极低的占地面积沉积薄膜生长技术。S-200适用于各种先进的介电和金属膜以及创新的材料研究应用。S-200的电源是一台射频发电机，频率范围从13.56 MHz到40 MHz。可调功率范围为200 W至3,000 W，精度水平为+0.01毫秒，S-200的基材尺寸限制为4英寸（10厘米）晶圆，最高温度范围为450 °C。可调压力范围为0.6 Torr至10 Torr。为了满足高质量的化学气相沉积结果，S-200只需要5000 sccm的流量。S-200的沉积真空室有气体进气管，以产生均匀的气体流动进行沉积。电极用于产生等离子体。一种不可蒸发吸尘器（NEG）泵用一系列钛基吸尘器材料捕获杂质。涡轮分子泵送基团用于维持腔室压力。S-200具有先进的安全特性。过温限位控制电路可防止任何异常气体流动或腔室的其他故障。隔离的高压电缆可隔离系统的高电源。S-200的入口歧管限制了气体的流动，以确保腔室内更高的纯度。S-200还具有一个配方存储单元,最多可存储五种配方。包括一个电动机阵列，使不同的运动阶段由不同的操纵杆根据用户的喜好进行控制。彩色LCD触摸屏,具有用户友好、直观的设计,允许用户对机器进行精确编程。CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200 Reactor是一种高科技沉积工具，为先进的介电和金属膜应用提供安全可靠的PECVD解决方桉。高效的气体溷合、真空控制和精确的电机控制使得这种反应堆成为实验室和生产环境的理想选择。