二手 CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453 待售

CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah是一个坚固、高速的反应堆，设计用于处理各种厚度和尺寸的复合半导体。这座反应堆是许多大学和工业研发实验室的首选工具。VEECO Savannah提供了一个具有自我校准功能的全自动流程,无需连续手动干预。可用于多种材料合成、制造、改性过程，如掺杂、外延沉积、蚀刻等。反应堆由四个独立的气体通道建成，容量可达九个晶圆。每个晶片由机器人臂连续处理，允许自动切换加工气体和样品材料。这样就能够对增长速度和温度等精确因素进行编程和精确维护。CAMBRIDGE NANOTECH Savannah具有低压过程，这是最先进的外延沉积过程所必需的。它的温度范围为100°C-800°C，可以与直流或射频电源一起使用，使其适合广泛的应用。为了确保精确的生长控制，萨凡纳配备了运行结束检测器、诊断设备和闭环温度控制。此外,它还具有方便的晶圆传输系统、集成的计量单元和防止整个运行过程中颗粒污染的防污染机器。CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah是一个高效、用户友好的反应堆，专门为化合物半导体材料沉积和其他工艺而设计。VEECO Savannah具有广泛的工艺参数和精确的生长控制，是半导体研究人员的理想工具，为探索和开发新工艺提供了完美的平台。