二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293642035 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一种高性能的离子氮化物共注入溅射（INCS）工具,其设计目的是为先进的半导体器件和MEMS等多种应用生产高质量的沉积物。对瞄准系统进行了优化，确保了整个基板区域均匀一致的放电。腔室温度由30-250°C可调，有利于控制折射率等光学性质。还结合了Diamond-Mesa线圈配置,以产生细线和空间图样,最大轨迹宽度可达0.15 μ m。此外，退火装置允许后处理具有出色的可控性和可重复性。此外，CANON COSMOS I-1201配备了先进的GAS ESCA机，为控制过程参数如压力、温度和时间提供了高质量的数据。ANELVA COSMOS I-1201操作简单可靠，广泛应用于微电子和光电工业。其精确的控制工具允许更精确的过程，产生更高的产量与改进的设备特性。该资产还可用于太阳能电池和显示器生产等其他应用。总之,COSMOS I-1201是先进半导体器件制造的理想工具.其先进的特点和精确的控制模型使其成为有兴趣生产优质矿床的精密应用的理想选择。