二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672 待售
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ID: 293649672
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
CANON/ANELVA Cosmos I-1201是一种用于工业溅射过程的真空电弧反应器（VAR）。它是一种紧凑、完全密封、自成一体的装置，用于控制各种工业材料上的无功和无功金属、介电、陶瓷涂层的沉积速率。CANON COSMOS I-1201由阳极和阴极之间形成的电弧提供动力，当真空密封的腔室里装满了低压的氙和氧的溷合物。电弧由电流产生，电流从带负电的阴极流向带正电的阳极。这种电弧产生等离子体场，允许反应性和非反应性材料从加热的目标中蒸发，然后沉积在基板上形成所需的工业涂层。ANELVA Cosmos I-1201配备了介质相位发生器,可在无功溅射或无功（磁控管）溅射模式下运行。在溅射模式下操作时，Cosmos I-1201使用磁控管技术制造出高度均匀的涂层，同时消耗的功率比传统蒸发系统少。磁控管作为腔室的中心部件，其设计极大地影响了溅射涂层的性能和均匀性。封闭电子回旋共振（ECR）系统提供较高的基板表面温度，大幅降低被侵蚀的目标材料副产物。CANON/ANELVA Cosmos I-1201的真空系统范围广阔，在10-4 Pa以下至10-2 Pa以上的压力下提供操作，真空室的两个显着特点是在腔室与旋转底座之间发现的三锁密封，提供快速方便的维护和对准。根据膜沉积的类型，CANON Cosmos I-1201可以配备两个或四个工艺室进行多室操作。阳极冷却系统以水冷电极和水冷室为基础，在运行过程中提供高效的热去除。获得专利的阳极冷却和油冷却系统可防止对阳极的热损坏，并可在整个目标基板上保持均匀稳定的温度。ANELVA Cosmos I-1201采用先进技术来确保准确、可重复的过程和安全的操作。最新的软件，结合多用途架构，让用户完全监控、控制、调整沉积过程的诸多参数。此外,集成的现场诊断程序在启用后会收集有关等离子体参数的信息,包括电流和平均光束功率、热负载以及目标电流和电压。总体而言，宇宙I-1201是一种可靠和高效的反应堆装置，可促进许多工业溅射过程。它由先进的工程解决方桉和确保精度、通用性和安全操作的尖端技术组成。
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