二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一种基于等离子体的反应器，通常用于表面处理和其他薄膜应用。它配备了10.4英寸的触摸屏方便操作，以及多个警告系统以确保安全。CANON COSMOS I-1201使用微波产生和维持高温、高密度的等离子体。该等离子体用于激发、电离和间接加热目标气体，而目标气体又与基材发生反应，形成薄膜。过程中的所有物理参数和目标条件都可以通过触摸屏面板进行定制，如源功率、气体流量、温度、压力等。为了保证高性能，反应堆配备了先进的系统来监控和维护等离子体参数。ANELVA COSMOS I-1201具有圆柱形排列，反应堆组件对称地围绕反应堆中心轴放置。这种构型有助于优化气室尺寸和等离子体密度，以便高效生产等离子体。反应器室的底座由热导率低的特殊陶瓷材料制成，以减少过程中的热损失。等离子体装置有集中供电、进给系统、控制监控底盘、中央控制系统。圆柱体提供了均匀的等离子体温度剖面，有效地"密封"了反应堆室免受外界干扰，并保持了均匀的等离子体参数。COSMOS I-1201等离子体反应堆中使用的射频源是一种感应型，其频率可以从1 MHz调节到13.56 MHz。使用较低的频率有助于更有效地运行流程并减少溅射。整体等离子体参数和工艺条件也可以通过安装在反应堆上的专用软件实时监控。该反应器采用氯化物防腐涂层屏蔽，在高湿度条件下达到最佳性能。反应堆在其他面板型反应堆中独一无二，因为它体积小巧，占地面积小，易于操作的控制界面。CANON/ANELVA COSMOS I-1201等离子体反应堆具有高性能和低能输出，是许多工业材料加工应用的理想解决方桉。