二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9377264 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一种高效、紧凑、强大的蚀刻沉积反应器。它特别适合于金属、半导体、化合物和电介质的蚀刻和沉积。它能够以1-30 MHz的频率提供高达500 W的功率，适用于多种应用，如微加工和薄膜沉积。它被设计为与最常见的设备和材料兼容，使其成为研究实验室和工业用户的理想选择。CANON COSMOS I-1201有一个集成电源和两个独立的腔室。第一室是引入工艺气体的蚀刻室，由气体面板、阀门和腔室压力表组合控制。该腔室为最佳等离子体均匀性而设计，易于监测和调整，以确保获得所需的结果。第二室为沉积室，设计为提供均匀的膜状性质，如沉积速度、均匀性、精度等。它可以容纳任何尺寸和厚度的材料，并且可以结合多种工艺气体用于不同的应用。ANELVA COSMOS I-1201的另一个特点是E枪电子枪，它提供直接电子束蚀刻和沉积能力。该枪装有一个自动射频枪电源，可以可靠的操作和快速、精确的沉积和蚀刻。射频功率可在很宽的范围内调节,以便进行基板加热和退火。为提高工艺精度，可以使用独立可调的聚焦栅格对电子枪电子进行聚焦和准直。COSMOS I-1201还配备了自动调谐器，用于自动设置射频发生器的参数。这允许用户控制等离子体的参数以匹配所需的条件，对于高吞吐量和可重复性特别有用。最后,CANON/ANELVA COSMOS I-1201具有内置的安全系统,并为符合OSHA要求而设计。它包括许多安全功能，如电离报警器、过热防护和紧急关闭开关。它还有一个低排放过滤系统，以保证手术室的健康工作条件。一个清晰的视图窗口允许用户随时监视进程。综上所述，CANON COSMOS I-1201是一种高效、紧凑、强大的沉积蚀刻反应堆。它能够通过精确的控制和广泛的工艺气体提供高功率，并且设计用于安全和可靠的操作。它是研究实验室和工业用户的理想选择，一定能提高许多过程的效率和准确性。