二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是为半导体工业中的蚀刻和沉积等应用而设计的一种反应堆。它是一种离子蚀刻设备，由一个圆柱形的腔室组成，其中放置了源和基板，以及周围的气流和其他辅助系统。该室分为一个具有源的主反应室，以及几个用于气流控制和辅助功能的次要室。主反应室呈圆柱形，由不锈钢制成。直径12英寸，长度16英寸，活动高度12英寸。它能够在1.3 × 10-4 Pa和0.6 Pa的压力下运行，可以从室温加热到1000摄氏度，加速电压高达20 kV。腔室的主要成分包括一对静电离子极和一个离子滤波器。两极产生一个强电场，使离子被电离并加速向底物，由磁悬浮的样品架保持在原位。离子过滤器只允许带电粒子通过，从而控制正在沉积或蚀刻的材料类型。CANON COSMOS I-1201附有一组气体，如氙气、三氯化硼、六氟化硫和硫化氢，以及一个电源和其他各种配件。该系统还具有可调气体流速，每分钟可设置0.1至100立方厘米，以及可调气体流动模式，允许控制沉积或蚀刻角度。该单元附带软件，允许定制蚀刻和沉积参数，以及控制机器和监测其性能。软件还有一个图形用户界面，可以方便地操作ANELVA COSMOS I-1201。总体而言，COSMOS I-1201是一种精确且用途广泛的反应堆，适用于半导体工业中的各种工艺，如蚀刻和沉积。其设计非常适合高质量、低体积的工作。它也相对简单和易于操作，使其成为那些需要快速有效地执行其流程的人的有用工具。