二手 CANON / ANELVA FC-3100 #9292992 待售

CANON/ANELVA FC-3100是一种先进的垂直电化学蚀刻反应器，专为高通量光刻蚀刻工艺而设计。该设备旨在为用户提供高端点精度和关键的均匀性间隙覆盖。该系统包括一整套功能，以满足MEM和集成电路制造的高精度需求。CANON FC-3100有一个电化学蚀刻单元，其中将一个铂化钛阳极和一个不锈钢阴极放入一个铂化钛分布板中。阳极和阴极连接到直流电源，允许电流在它们之间传递。控制电流密度、曝光度和电解质成分，使用户可以精确蚀刻成厚厚的光刻胶层。ANELVA FC-3100包括一个高效蚀刻的高通量石英反应器.该反应堆一次最多可容纳四个150毫米晶片，允许高产。反应器室设计为保持工艺条件，具有良好的温度控制，导致所有晶片均匀蚀刻。该机还具有集成的过程监控功能。这包括一个惰性气体注入工具和计算机控制的数据记录，使用户能够优化他们的过程和保持优秀的关键缺口覆盖。总体而言，FC-3100是一种先进的垂直电化学蚀刻反应器，具有多种功能，可帮助用户实现高通量、精密蚀刻工艺。它配备了高效的石英反应堆、惰性气体注入控制、计算机控制的数据记录以及过程监控能力，使用户能够在整个蚀刻过程中实现高端点精度和临界均匀性间隙覆盖。