二手 CANON / ANELVA FC 7100 #9383066 待售

CANON/ANELVA FC 7100是一种用于硅加工行业的微加工反应堆，通常是半导体和光电应用。该系统将电子束蒸发器、聚焦离子束（FIB）蚀刻和化学气相沉积（CVD）工艺结合成一个高度自动化和易于使用的工具，非常适合各种复杂的制造任务。该系统利用大功率电子柱将材料蒸发到基板表面。电子束是聚焦的，提供了对材料沉积的精确控制。此过程可用于将金属薄膜沉积到基板上,从而在芯片上形成互连或电线。CANON FC 7100还能够将多层材料沉积到基板上以创建3D结构。ANELVA FC7100还为制造更精细的结构提供了聚焦离子束（FIB）蚀刻能力。这个过程非常适合在基板表面制作各种图桉。FIB过程使用带电离子束从基板表面蚀刻材料。这可用于在芯片表面上创建纳米结构或阵列。最后,CANON FC7100系统还提供化学气相沉积（CVD）功能.CVD是一种用于将材料薄膜沉积到基材上的工艺。此过程用于内存设备以及其他应用程序。FC7100允许材料在基板上的精确和高度控制沉积。这一增加的精度层确保了CVD过程成功。综上所述，FC 7100微加工反应堆是制造复杂半导体和光电器件的有力可靠工具。它结合了电子束蒸发器、FIB蚀刻和CVD功能,采用单刀具方法,确保成功制造过程所需的高精度材料沉积和蚀刻。