二手 CANON / ANELVA FC 7100 #9400031 待售

CANON/ANELVA FC 7100是为半导体制造而设计的高性能反应堆。与传统反应堆相比，它采用独特的圆柱形流动设计，成本低得多，占地面积小。该反应器采用加热的金刚石卡盘来固定晶片，为加工提供稳定一致的平面表面。CANON FC 7100特别适合处理200 mm （8英寸）和300 mm （12英寸）晶圆，具有专门的平面波扭矩电动机驱动机构，可可靠精确的阵列。它利用集成的扫描对齐器来验证对齐和制图过程中的准确性。这些过程可发生在高温至900℃。此外，该反应堆还设有一个大型石英观察端口，用于检查微加工过程中晶圆的加工。观赏窗还配有防反射涂层，并通过隔离的接地线连接，在移动晶片时提供全面的电气噪声防护。ANELVA FC7100反应堆设计具有用户友好的界面，使操作员能够以多达16个可调参数轻松控制或监控加工条件。它还包括一个内置的热板加热器，以确保在蚀刻、沉积和清洁过程中精确的温度控制。可以根据微加工工艺的要求，在CANON FC7100中安装多个晶片支架。例如，对于硅片应用，持有者可以安装碳化硅板作为基础，以提高产量并提供更好的表面光洁度。此外，佳能/ANELVA FC7100支持多个晶圆传输系统，包括装载机和自动卸载机。兼容系统可以连接到主控制台，以便于监测和重装晶片进出反应堆。最后，FC 7100为半导体制造提供了一种高效灵活的解决方桉。其扎实、人性化的设计和先进的特点，包括集成对齐器、热板加热器和增强的观赏窗口，使其成为适合大小生产需求的选择。