二手 CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529 待售

CANON/ANELVA I-1201 CX是为各种工业应用而设计的多功能反应堆，如溅射蚀刻、半导体加工和其他表面处理操作。它是具有不锈钢圆柱体的中型至大型反应堆，并设有圆锥形底部和倾斜顶盖，使反应堆具有高度的稳定性和抗湍流保护。它还提供绝佳的等离子体场均匀性，确保整个表面均匀蚀刻。CANON I-1201 CX通常在超高真空环境中使用，但也可以在低真空环境中操作。具有通路5.5 kW RF电源，具有先进的工艺控制能力，可根据工艺要求调整电源。它还带有5.5 kW的直流偏压供应，有助于降低沉积速率。ANELVA I-1201 CX的其他特性包括石英窗、等离子体观察端口和快门控制的工艺气体入口，为重复一致的表面处理性能提供了出色的工艺控制和稳定性。它也有一个阳极屏蔽，保护上电极免受等离子体的影响，并允许从下电极宽大的间距来改进过程控制。I-1201 CX具有先进的功率/气体控制系统,使操作员能够精确控制气体/射频功率比以优化过程结果。它包括具有进化特性的高级诊断,如故障检测、过程监控、安全超载和其他相关特性。高级诊断还允许操作员优化工艺参数，以提高效率和产品质量。CANON/ANELVA I-1201 CX是一种用途广泛、坚固可靠的反应堆，旨在确保一致的表面处理操作，即使在最苛刻的工业应用中也是如此。它的耐用性和灵活性使其成为中型至大型工业加工作业的理想选择。其先进的技术和安全特性使其成为各种表面处理的可靠、经济的解决方桉。