二手 CANON / QUESTER APT 4800 #9251318 待售

CANON/QUESTER APT 4800是用于生产半导体和平板显示器的先进生产工具。该反应器既有冷冻框架激光束溅射沉积/蚀刻工艺，也有脉冲激光热退火工艺。它提供了无与伦比的准确性、精确度、吞吐量和可扩展性。CANON APT 4800的激光束溅射沉积工艺采用聚焦激光束，非常适合在表面制造高度均匀的介电、金属和金属氧化物材料薄膜和层。它可以沉积厚度在0.5至100微米之间的薄膜。激光束在生产多层薄膜时溷合气体和离子。与传统的溅射方法相比，这可以提供更好的胶片质量和均匀性。QUESTER APT 4800的脉冲激光热退火工艺具有广泛的腔室压力和温度，以确保以前常规退火系统无法达到的均匀性和可重复性水平。这一工艺在晶体化合物的生产中也提供了优越的性能，可以用来制造高导电性和高质量的薄膜，具有极好的可重复性。APT 4800是一种通用的生产工具。它可以快速地将薄层和厚层沉积到具有高度均匀性和可重复性的基板上，同时提供优越的薄膜质量。此外，它调整工艺之间参数的能力导致生产成本效益高。此外，其生产具有复杂光学和电学特性的先进薄膜结构的能力使其成为先进显示和二极管制造的理想工具。