二手 CSD EPITAXY EpiPro 5000 #293771200 待售
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ID: 293771200
优质的: 2008
EPI Reactor
(2) Susceptors, 6"
PILLAR RF Generator, 250 kW
PILLAR Heat exchanger
UPS
NORCIMBUS TCS Minibubbler
Gases: HCL, H2
N2 Purge
Gases dopant 1: PH3 / H2 Mix
Gases dopant 2: B2H6 /H2 Mix
Aux dopant: PH3 / H2 Mix
Belljar station
2008 vintage.
CSD EPITAXY EpiPro 5000是专为先进光电器件制造而设计的最先进的外延反应堆。其独特的模块化设计允许方便的安装和灵活的配置，以满足各种技术需求。该反应堆经过专门设计，可实现用户友好操作，同时优化以达到最大性能。外延反应器采用特别设计的多气流闭环溶液，使工艺室保持在最佳环境。在三区设计中实现了精确的温度线性化，实现了对掺杂剂通量性能的精确控制。反应堆具有自动掺杂通量控制，最高温度为1250 °C。该工艺室还有一个可移动的衬里，使维护和清洁更容易。EpiPro 5000配备了自动提载设备，用于将晶片安全、快速地转移到工艺室内。数字控制系统易于使用，并允许对气流、温度和压力进行精确设置。此外，先进的脉冲石英单元允许用户在任何给定时间调整工艺参数，以提高工艺稳定性。CSD EPITAXY EpiPro 5000具有可定制的屏蔽气体,可防止FOD（异物碎片）污染。恒压率机保持密封密室，将泄漏率降至最低，优化加工环境。腔室内壁为不锈钢，提供耐用性和优异性能。EpiPro 5000还具有全面的安全工具,可随时确保安全运行。资产包括温度和压力传感器，以及多个警告灯和停止灯。实时监测确保反应堆在运行过程中保持峰值状态。直观的软件和控制模型还允许用户远程监控和操作CSD EPITAXY EpiPro 5000。总之，EpiPro 5000是一种用途广泛的反应堆，具有可靠和用户友好的特点，具有无与伦比的精度和性能。先进的特性和可定制的操作参数使这种外延反应器成为先进光电器件制造的绝佳选择。
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