二手 INTEVAC LithoPrime #9181440 待售

INTEVAC LithoPrime是一个先进的反应堆，旨在通过显着减少制造集成电路所需的时间来显着提高半导体制造效率。开发这项技术的目的是为了消除生产复杂设备的多个过程步骤的需要，从而降低生产过程的复杂性，并为集成电路制造商提供满足其需求的快速、高效的解决方桉。LithoPrime反应堆采用圆柱形设计，采用集成膨胀室，可精确控制工艺环境。这是通过使用冷却气源和速度控制系统来实现的。反应堆配有光学检测系统和先进的温湿度传感器，确保整个生产过程中处理参数保持精确控制。为了优化通量,可以精确控制反应室内的压力.INTEVAC LithoPrime设计用于与多种沉积技术兼容，如化学气相沉积（CVD）、溅射和反应性离子蚀刻（RIE）。这个用途广泛的加工平台非常适合各种材料，从硅基材料和非易失性存储器到厚膜半导体和石墨烯。除了无与伦比的加工能力，LithoPrime还提供高效的气体注入流量和精确的温度控制。由于反应堆的快速冷却系统，加工时间明显减少，加热的腔室允许前体气体的有效利用。该反应堆还具有扩大的基板尺寸，可用于较大的基板加工应用，以及一层一层的制造工艺，能够有效地形成结构复杂的装置。INTEVAC LithoPrime的潜力巨大，其使用已经在改变半导体生产的格局。这座高度先进的反应堆为制造商提供了提高的产量、更高的吞吐量和改进的工艺控制。对于希望增强生产能力的制造商来说,这是一个完美的解决方桉。