二手 INTEVAC Matrix #9288407 待售

INTEVAC Matrix是专为半导体晶圆和先进材料的加工而设计的高效且具有成本效益的反应堆。它具有较大的基板表面积和改进的温度均匀性，以实现严格的工艺再现性。惰性真空环境允许在高温和高速下运行，因此，反应堆能够以比手动溶剂处理系统短得多的周期时间运行。在它的心脏，矩阵是一个排他性的，全石英双真空室设备。腔室系统结合了超高真空（UHV）主腔室和反应性二级腔室。这种双室技术允许对晶圆加工进行精密的控制。一次室用于物理气相沉积和蚀刻，二次室则装有RF感应加热单元，可用于高-k和低-k电介质等材料的热处理。这种双室架构还消除了对转移机的需求，从而提高了生产率，降低了运营成本。INTEVAC Matrix的设计考虑到安全性。所有操作条件和警报记录都可以使用车载遥测工具进行远程监控。反应堆还配备了互锁和自我诊断系统，旨在降低接触有害物质的风险。在硬件方面，Matrix配备了原位端点监控资产、自动晶圆监控、快速冷却模型、增强型射频感应加热设备、改进的压力控制系统以及完全集成的自动化装载单元等功能。所有这些功能结合在一起,可提供可靠且用户友好的计算机,从而简化流程周期并缩短整个流程时间。INTEVAC Matrix用途极为广泛，与多种高级工艺配方兼容。它具有广泛的工艺化学性质，如热氧化、氮化物沉积、溅射蚀刻和光刻。总而言之，Matrix是一个先进高效的反应堆，非常适合半导体和其他先进的材料加工。它高效的设计使得它非常适合随时间推移过程的可重复性。INTEVAC Matrix旨在安全可靠地运行,同时为用户提供一套全面的特性和功能。它是实验室和生产设施要求卓越的工艺重复性和可重复性的理想选择。