二手 INTEVAC Vertex Spectra Y09 #293626646 待售

INTEVAC顶点光谱Y09是一种高功率电子束HF-CVD（热丝化学气相沉积）反应器，用于各种材料的沉积，包括铜、铜合金和铜钴合金。该反应堆采用了两种独立同时运行的电子束枪，结合了一种新颖的预成型等离子体源。这些特性使精密工程的半导体薄膜以高通量沉积，沉积速率变化最小。该反应器利用真空室中产生的三个独立的热源，提供了最终的工艺灵活性水平。预先形成的等离子体源提供高功率、稳定的放电，能够沉积均匀、精密设计的薄膜，表面粗糙度最小化。这也可以更好地控制薄膜的生长速度和化学潜能，因为它能够在沉积过程之前氧化底物表面。电子束喷枪能够提供高达37千瓦的功率，具有高发射电流密度，可以在高沉积速率下沉积高长宽比薄膜。这导致高调的薄膜在其底层上粘附良好，具有极低的缺陷密度。电子束枪还提供了高水平的可控性，在设定工艺参数时给予用户充分的灵活性。可加工层厚度为10 nm至1 μ m,最小粒度为1 μ m。顶点光谱Y09的腔室尺寸为直径500毫米x 580毫米高，内部体积大气为典型的5 mTorr。以高压3400 L泵为动力，提供了快速的真空泵送速度和提高的腔室压力稳定性。气体进气口在腔室顶部，有线性隧道晶片传递机制用于晶片加载。INTEVAC Vertex Spectra Y09提供了一个复杂、用户友好的基于PC的软件,该软件具有自动参数设置,便于过程设置。此外,它还为大容量数据存储提供了高容量内存,便于监视和分析过去的流程性能。该设备还符合标准安全和环境法规,包括CE和ISO 13485认证。Vertex Spectra Y09为研究和制造应用提供了灵活、高质量的沉积工艺。