二手 INTLVAC Nanochrome #9361948 待售
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ID: 9361948
晶圆大小: 4"-6"
Thin film deposition sputtering system, 4"-6", parts system
Part number: NCI-2AC-DC-RF-EH
CTI On-Board 8R CP cryo pump with FastRegen controller
8200 Compressor with hoses
(2) ADVANCED ENERGY MDX-1K Power supplies
ADVANCE ENERGY PEII 5K Power supply
RF VII and RF-6 RF Generator
HOPE INDUSTRIAL SYSTEMS HIS-Rl17-CTDE Touch panel display
(2) INTLVAC Filament controllers
EDWARDS XDS35iC Scroll vacuum pump
Chamber with (4) sputtering targets.
INTLVAC Nanochrome是一种紧凑的超高真空（UHV）热蒸发反应器，提供了一种精确、高效的薄膜沉积在基板上的方法。利用微波能量使材料汽化，使厚度均匀、均匀的薄膜沉积。纳米色素专为需要高温处理的应用而设计。可用于沉积纯金属和合金、半导体如硅、绝缘体、氧化物如SiO2。INTLVAC Nanochrome由一个圆柱形真空室组成，安装在电动三轴机械手上。真空室充满了一种惰性气体，如氙气或氮气，并附有一个泵来排空腔室并保持特高压压力。蒸发源和基板支架位于真空室内部，安装在机械手上。蒸发源通常由石墨船制成，可以容纳要沉积的材料。基板支架将基板置于顶部,安装在机械手上,从而可以精确定位基板。纳米色素具有微波发生器,耦合蒸发源进行快速材料处理.发电机夹带材料和创建等离子体形式，然后可以被引导到基板上。发电机配有低ESR电容器，以确保高效、精确的处理。INTLVAC Nanochrome还包含许多保护措施,例如电弧和过热保护,以确保安全运行。此外，真空泵还配备了无油隔膜泵和气体压载阀，以确保清洁高效的运行。纳米色素提供了一种快速、高效地将薄膜材料沉积到基板上的方法，为生产商提供了一种满足其需求的可靠、经济高效的解决方桉。它可以用于多种应用，包括太阳能电池生产、光学涂层、金属化和纳米加工。INTLVAC Nanochrome是一个强大可靠的系统,旨在最大限度地提高效率和降低生产成本。
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