二手 KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L #293654718 待售

KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于研究和生产。这是一种多功能、高效的设备，适用于一系列沉积过程和材料。它具有水平矩形石英反应管，典型真空压力为10-2至10-5 torr。系统分为两节；一个真空室和一个气体分配单元。真空室装有由耐久密封的石英玻璃墙制成的反应管。这确保了实验运行期间的高水平光学传输。反应管设计为高能效，具有较大的有效面积和墙壁绝缘，使机组能够实现更高的通量。气体分配装置配有一套气体流动阀和调节器，以确保在CVD过程中精确输送所需的前体。它还配备了四极质谱仪，能够实时监测引入反应堆的气体。反应堆进一步自动化，配有一个微控制器和几个温度和压力传感器以及监测器，以调节反应管内的温度和压力水平。与其他CVD沉积系统相比,KVCVD-2006L具有几个独特的优势。它易于操作，需要最少的维护，并且能够处理各种沉积过程。此外，利用四极质谱仪的快速反应精度，研究人员能够准确监测CVD工艺中使用的气体成分。此外，为了提高沉积过程的均匀性和可重复性，对反应器室进行了绝缘。总体而言，KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L是一种先进的CVD反应堆，具有许多特点，使其适合各种沉积技术和材料。机器的大反应管面积允许快速、高效的处理时间，而四极质谱仪和随附的传感器则提供对前体的精确监测，以精确控制沉积的材料。该反应器操作方便，维护最少，是CVD沉积的理想装置。