二手 LAM RESEARCH 839-019090-632 #293662521 待售

LAM RESEARCH 839-019090-632是半导体工业中用于原子沉积的一种等离子体蚀刻反应器。它由一个圆柱形腔室组成，内部有两个电极，下部电极和上部电极，间隙很小。腔室内填充有气体溷合物，典型的是包括氙气、氧气和氮气，并被排空至低压。在两个电极之间施加射频功率，在两者之间引发等离子体。这种产生的等离子体会轰击腔壁，造成原子的蚀刻和沉积，最终改变腔内物质的层和结构。该系统能够处理300毫米至150毫米不等的各种不同晶片，并提供多种工艺选择。反应堆还配有两个负载锁，一个冷却器和150毫米至300毫米的能力。它配备了高频射频发电机和电源，先进的诊断，先进的功率控制和各种传感器。高级诊断程序提供了一些工具,可以精确控制等离子体参数。该反应堆的设计考虑了性能和可靠性，可根据不同的用户要求进行定制。腔室采用不锈钢制成，设计时考虑到最高安全标准。电极由铝酸钨构成，对等离子体轰击具有弹性。该反应堆还具有先进的过程控制功能，这意味着它能够自我调整以优化和可重复地提供严格的过程参数窗口。839-019090-632是一个用途广泛、功能强大的反应堆，非常适合研发和生产蚀刻。其先进的过程控制确保了一个可重复的过程，对等离子体参数的精确控制，并最终获得高产率。它还与最先进的安全和质量标准兼容,并确保各种应用程序的可靠性和性能。