二手 LAM RESEARCH Altus Max #293610297 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于高级逻辑应用的先进晶圆厂变换。凭借先进的工艺控制和自动化能力，Altus Max可以处理高介电常数（high-k）和低介电常数（low-k）材料。LAM RESEARCH Altus Max集成了FastEx Advanced Edge™功能,该功能提供卓越的质量和可重复性,并具有高温和更高效的沉积速率等高级工艺控制功能。此功能有助于提供超高性能材料,增加规模和吞吐量,同时最大限度地提高产量和设备可靠性。Altus Max还具有自动晶片装卸功能，具有符合人体工程学的晶片干扰站和用于连续操作的气闸系统。轻巧、高精度的机器人手臂提供高效的自动化物料转移。LAM RESEARCH Altus Max还提供了流程窗口管理PWM™软件的灵活性。此软件使用户能够自定义和监视流程参数,以及实时监控和趋势批量性能。它为控制沉积均匀性和污染保护提供了一系列备选方桉。Altus Max最大限度地提高了晶圆吞吐量和利用率,同时采用高生产率ECP工艺和大规模并行CVD技术。LAM RESEARCH Altus Max凭借其独特的流程灵活性级别,提供了极致的流程可扩展性,同时还提供了卓越的晶圆厂转换功能。此外,Altus Max还提供出色的安全功能,旨在满足所有全球安全标准。操作员界面设计方便的导航和直观的导航，以帮助管理过程参数。LAM RESEARCH Altus Max是业界领先的反应堆,提供前所未有的吞吐量、性能和可靠性。凭借其先进的过程控制和自动化功能,Altus Max提供了高级自动化和控制,以提供最高级别的性能、规模和吞吐量。