二手 LAM RESEARCH Altus Max #293610302 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一种高度先进的反应堆，用于处理用于制造各种集成电路和器件的半导体晶片。Altus Max凭借其先进的金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术,提供了卓越的性能和能力。它采用单一源方法，即单一前体进料系统同时输送源气体和载气，从而形成更加统一和稳定的工艺。LAM RESEARCH Altus Max附有专有的晶圆装载盘，可进行原位交换和更快的装填时间。它还具有一个通用接收器，它可以容纳不同的晶圆大小和工艺配置。敏感器可提高整个晶片的温度均匀性,提高工艺产量和吞吐量。为了降低风险并保持高产率,Altus Max配备了一个锁载室,可消除手动装载带来的潜在污染。此外,它的分离绝缘串行（DIS）过程控制系统自动优化了过程条件,使可重复结果的最大运行可重复性达到3西格玛。LAM RESEARCH Altus Max提供卓越的易用性。其直观的图形用户界面（GUI）提供了过程参数的清晰指示,从而减少了手动调整的需要。此外,它还内置了用于快速传输配置数据的配方库。Altus Max专为长期可靠性而设计,配备了一个获得专利的自动晶圆传输臂,用于安全装卸。它还包括一个提供准确维护和跟踪设备性能的自我诊断系统，允许用户对维护任务进行优先排序，以最大限度地提高正常运行时间。LAM RESEARCH Altus Max是一个最先进的反应堆，提供卓越的工艺和屈服性能，最佳的工艺控制，极好的易用性和可靠性。它设计用于各种先进的半导体制造工艺，提供高质量的结果和一致的、可重复的性能。