二手 LAM RESEARCH Altus Max #293625737 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一种先进可靠的感应耦合等离子体（ICP）反应堆设备，旨在支持广泛的科学和工业应用。它具有先进的技术和可定制的选择，可用于从蚀刻、沉积、薄膜生长和钝化到光学薄膜沉积和化学气相沉积的各种过程。Altus Max的特点是eChamber™，是ICP反应堆的革命性和必不可少的组成部分。这一专利设计允许用户从三条均匀功率曲线中选择一条，从而对等离子体过程进行精确控制。该室具有良好的电气分离工艺，即使具有高功率水平，并具有一个成熟的气流设计，以平滑和稳定维护所需的等离子体参数。在有大量工艺气体的情况下，该工艺可以很容易地根据任何应用程序的要求进行定制。LAM RESEARCH Altus Max还包括一个独特的气体注入系统。这一专利设计允许在一次运行中同时控制多个气体，允许在优化吞吐量的同时精确调整等离子体参数。还提供压力控制，以确保等离子体的精确调制。Altus Max配备了先进的监控能力。触摸屏显示可轻松访问所有流程参数,而集成的数据记录和配方管理软件则可精确控制流程设置和参数。该单元还包括气体分析仪和质谱仪能力，允许对工艺环境进行精确控制和分析。LAM RESEARCH Altus Max是一种先进、灵活、可靠的ICP反应堆机器。凭借其获得专利的eChamber™和气体注入系统，它为寻求精确和可重复过程控制的科学家和工程师提供了广泛的选择。凭借其集成的监控功能和多种气体选项，它甚至可以轻松处理最困难的应用。