二手 LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod #293646584 待售
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LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod是一种等离子体反应器，旨在方便薄膜沉积在底物上。这是一个革命性的设备，使用一个高度先进的射频（RF）等离子发生器和强大的真空系统，使环境非常适合薄膜的形成。它非常适合沉积氮化硅、二氧化硅或其他类似薄膜等材料。C3 Altus Ice Mod使用强大的基于逆变器的电源来激活过程气体。这种气体是通过气体控制单元引入的，其雾化和反应，也导致产生等离子体。然后将这种等离子体输送到沉积室，在那里它在到达基质之前经过一个等离子体支配区域。为了确保最佳沉积，等离子体气体被快速脉冲，从而在基板表面实现均匀分布。此外,Altus ICE Mod还提供了一系列操作0-4000Hz,可实现最佳的重新溅射,提高材料沉积速率并提高表面的均匀性。此功能有助于降低整个沉积过程的成本。Altus ICE Mod还具有双腔室光学元件，允许用户同时监控沉积和等离子体过程。这使他们能够识别沉积过程中可能发生的任何问题，并采取适当的纠正措施。此外，该机还配备了一个内置抽油机，用于监测沉积室中的压力，以确保该过程达到最佳效果。总体而言，LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod是一种高度先进的等离子体反应堆资产，采用了最新的射频等离子体发生器技术，使用户能够有效地将优质薄膜沉积在多种基板上。它提供高工作速度和功率，除了双腔室光学器件的最佳材料沉积和泵控制的优化压力。
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