二手 LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339 待售

LAM RESEARCH C3 Ice mod是一种高效、低成本的等离子体蚀刻反应器，能够精确蚀刻薄膜和金属材料。它是一种紧凑、经济高效的设备，设计用于制造半导体和其他电子产品。C3 Ice mod的电源能够产生高达650°C的高温等离子体，是高温退火、精密金属蚀刻和阳极膜沉积的理想选择。该系统由四个组件组成,即模块化接口控制器（MIC）、大型机、模块化电源（MPS）和两个离子源控制单元（ISC）。MIC是负责单位整体控制和自动化的中央处理单位。负责控制和监控过程温度、压力、气流和压力、电源调整等所有机器参数。主机包含腔室组件、真空泵、冷却子系统、安全系统、离子束源等。MPS负责产生用于蚀刻过程的低压高温等离子体。ISC单元负责产生高电流等离子体光束和冷却基板。LAM RESEARCH C3 Ice mod设有两个真空室，最多可容纳六个基板。该工具与各种蚀刻气体化学物质相容，如氧气、氙气、氮气和氯气。它能够以1微米的精度控制特征的蚀刻深度和深度。C3 Ice mod拥有自动输送气体的资产，用于精确控制蚀刻气流。它还有一个可调节的射频发生器，用于等离子体参数的精确控制，如压力、温度和离子束加速度。LAM RESEARCH C3 Ice mod还配备了光学发射光谱和质谱等一系列诊断仪器。这样可以准确测定蚀刻速率、蚀刻深度、基材厚度、薄膜附着力、电气特性和其他工艺参数。C3 Ice mod效率高、性价比高，在高端半导体器件的生产中提供了极好的重复性和准确性。