二手 LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel #9394296 待售

LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel（C2SS）是为高通量表面处理应用而设计的先进准大气大气压力等离子体反应堆（APP Reactor）。该C2SS采用独特的双相等离子体技术工艺，两个不同的工艺同时发生，每个工艺为基材提供不同的好处。C2SS反应堆有一个双相等离子体发生器，可以对等离子体体系进行优化的过程控制。该过程的第一阶段是一个低压的基于射频的等离子体，用来从过程气体中生成带电的粒子云。然后在第二相高压DBD等离子体中使用这种云。高压相作用于增加带电粒子云的密度，导致更好的接触和改进的处理深度。C2SS反应堆有1至10升的可调工艺室容积。这样可以处理各种基板,从小型元件到尺寸为200 mm x 300 mm或更大的大型零件。反应堆还有一个双串联过滤系统，它可以去除任何不需要的粒子，以保持反应堆运行到其峰值效率。C2SS反应堆能够处理各种材料，包括塑料、金属、陶瓷、填充塑料和复合材料。该工艺可用于表面处理应用，如清洁、蚀刻、表面激活和修改。它也可用于沉积过程，如屏障和防静电涂层的应用。C2SS反应堆可以集成到生产线中，从而实现更具成本效益的运行。该C2SS也是一种可靠且易于维护的生产工具。直观的用户界面允许快速设置和轻松的故障排除,而内置的安全系统提供了总体安全操作。综上所述，LAM RESEARCH C2SS是一个最先进的大气压力等离子体反应堆，具有独特的双相等离子体技术过程。该C2SS具有多种工艺选择、可调腔室体积和过滤系统，可靠性高、维护方便，是表面处理和沉积应用的理想高通量解决方桉。