二手 LAM RESEARCH DSM 9900 #293587928 待售

LAM RESEARCH DSM 9900是一种先进的等离子体蚀刻反应器，用于加工硅、聚酰亚胺、玻璃甚至某些金属等各种材料。该装置采用最优质的部件和制造技术，以确保高等离子体产生能力和可重复、可靠的操作。LAM RESEARCH 9900以其独特的化学能力，能够以架构和微地形蚀刻广泛的结构。LAM RESEARCH 9900是一种比例蚀刻反应器，利用安全的闭环控制系统和低温冷却，对所有材料进行高效、高速的等离子体蚀刻。该装置设计成以低频或高频模式运行，在蚀刻过程中提供灵活性和精确度。电源、反应堆室、惰性气体、蚀刻物种、掺杂剂等工艺部件均独立控制优化，确保加工准确、可重复。DSM 9900反应堆是一种用途广泛的蚀刻设备，允许加工不同的基材和材料，具有广泛的几何形状。该系统结合了精密的气体控制、陶瓷泵送口和整体式晶圆处理组件，提供了最高水平的稳定性和均匀性。该单元还提供了一个具有自动诊断功能的高级监控机器,可确保获得最佳效果。LAM RESEARCH DSM 9900反应堆是为硅、铜甚至金等硬质材料需要最高产量和吞吐量的客户开发的。这种工业级工具提供了对所有过程变量的完全控制和监控，确保了最高的产量和准确性。资产的多种可用功能和多种操作模式使其成为从基本到复杂的任何蚀刻应用程序的理想解决方桉。此外,该型号与各种外围设备兼容,可以集成到更大的工艺生产线上。