二手 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183 待售

LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一种高效、优化的热反应热壁反应器，设计用于蚀刻和沉积过程。它是一个两室反应器，一室专用于蚀刻，另一室专用于沉积。这些室由一个三壁陶瓷室隔开，该室容纳一个薄膜源。这通过消除源与工艺室之间的直接接触来确保最大效率。反应室被高反射率的不锈钢保形罩所覆盖，以达到最大效率。反应室还具有用于等离子体室的阳极和阴极，以及用于引入掺杂剂和蚀刻剂气体的规定。该工艺容器由具有频率控制的磁性搅拌器搅拌，以确保工艺的均匀性。该工艺容器具有内置气体疏散系统，使工艺容器能够在工艺前后进行疏散。Dual Sola Excel专为高通量蚀刻和沉积工艺而设计，生产水平高，蚀刻率低。它非常适合在半导体制造过程中蚀刻和沉积二氧化硅等材料的薄膜。双腔室能够有效地进行过程管理，从而保持正确的蚀刻或沉积过程。加热系统确保整个热反应室的温度均匀。热反应器由精确温度控制系统封闭，确保反应室内温度一致。它也可以被远程监控，允许出色的控制和便利。LAM RESEARCH Dual Sola Excel还设有集成射频发电机，允许使用发电机进行各种蚀刻和沉积过程。冰箱采用氮气加压，允许温度范围为-60至120摄氏度。也可用于金属蒸发，具有精确的湿度和温度控制。总体而言，Dual Sola Excel是半导体工业中用于蚀刻和沉积过程的高效、精确的热角色反应器。它使用户能够准确地监视和控制流程,确保一致、最佳的流程结果。它也适用于金属蒸发，可以与多种材料配合使用。