二手 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9379269 待售

LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一种先进的等离子体反应器，用于蚀刻、沉积和表面处理等各种加工应用。双Sola Excel反应堆设计效率高，成本效益高。为基材的快速可靠加工提供了坚固的加工室。反应堆易于使用，包括多种特性，使其成为过程开发和生产加工的强大工具。LAM RESEARCH Dual Sola Excel提供高级自动化选项,使其能够轻松集成到现有系统中。它的特点是一个atomix发生器，使精确的气流控制准确和可重复的过程。它还通过其双Unterberg电源提供了扩展的多功能性,允许提供最多两个工艺室的灵活性。反应堆配置性强，可以适应广泛的应用。它配备了磁控管和线圈源，以确保等离子体分布均匀，其真空容器被设计用于快速泵降和优越的基板清洁。它还能够结合多条供气线路，使得工艺之间的切换速度更快、效率更高。Dual Sola Excel还具有一系列安全功能，如集成的紧急停止和自动减压阀。它还通过了ETL和CE认证,以提高安全性。反应堆可以与附近的安全设备有效互锁，以提供额外的保护。总体而言，LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一个先进、性价比高、安全的等离子体反应堆。其多种特性使其非常适合用于各种加工应用，从开发到生产。它提供了高效、均匀的等离子体分布，其安全特性使其成为在任何环境中运行的可靠和安全的工具。