二手 LAM RESEARCH Inova NExT #9350861 待售
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LAM RESEARCH Inova NExT是一种低能、先进的等离子体反应堆，能够制造先进的电子设备。Inova NExT专为下一代芯片制造而设计，如三维（3D）晶体管和闪存。它具有高分辨率、低温和高产率制造平台的增强过程控制功能。LAM RESEARCH Inova NExT配备了射频（RF）发生器和支持平行双面晶片处理的氧气（O2）等离子体源。其多源、多频发生器可实现精确的等离子体沉积和蚀刻过程。Inova NExT的高效气体输送设备在晶圆表面保持低残留气体，消除颗粒和减少应力，允许均匀和可重复的薄膜沉积剖面。LAM RESEARCH Inova NExT反应堆利用多种高分辨率光学传感器和探头进行实时过程监测。其电探针感应和显示过程温度、压力和溅射速率。其先进的过程控制功能可实现精确的过程步骤优化和总体产量改进。Inova NExT采用高度可靠、低维护的真空泵系统设计，用于从腔室收集气体。流线型气体输送装置保持对气体流量和数量的良好控制，有助于减少污染。其屏蔽射频机保证了均匀沉积，保证了控制硬件不因EMI而损坏。LAM RESEARCH Inova NExT的自洁操作有助于保持工艺室的清洁和无污染物。其重型腔室结构采用300系不锈钢制成，具有优异的腔室热容量和均匀性。Inova NExT腔室尺寸可以定制以适合任何制造工艺。LAM RESEARCH INOVA NExT可以配备可变角度晶圆旋转、实时角度视图和晶圆级传感器，用于温度、压力和气流，以及腔内的多个活动温度区域，以进行更大的温度控制。它是为长期可靠的操作而建造的，能够支持可重复、高产的制造工艺。
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