二手 LAM RESEARCH Inova #293594356 待售
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LAM RESEARCH Inova是一种先进的蚀刻设备，用于硅片的精密加工和微电子器件的生产。它是现有的最新工具，也是唯一一种具有温度控制能力的工具，具有无与伦比的准确性和生产率。该系统利用超纯度气体，如K、氙和氧，以令人难以置信的精确度和控制力蚀刻掉硅层。Inova的特点是一个连接在反应堆容器上的闭环离子源和一个IOES（离子光能源），辅以一个具有独特磁性清洁单元的辅助顶架。这台机器有助于分离纳米颗粒和污染物，同时保持安全的工作环境。IOES工具还提高了短距离和高深度蚀刻过程的吞吐量,确保两个过程保持严格的控制和准确性。LAM RESEARCH Inova资产还配备了先进的安全机制，保护其及其部件免受超压、材料过度暴露以及人为失误的危害。它采用特殊金属设计，以金属密封和关闭阀门，确保模型保持在一个安全和最佳的压力。此外,对法兰进行了优化,使漏气保持在最低限度。Inova设备还采用了扫描抗蚀剂蚀刻（SRE）技术，该技术使用独立的抗蚀剂块来精确、安全地控制蚀刻深度。这有助于防止错误的发生并确保更高的收益率。SRE有助于随时间推移保持非常一致的蚀刻速率,从而实现完全的一致性,这是设备生产的关键。除了精度和精确度外，LAM RESEARCH Inova还以可靠性和低维护要求而闻名。耐腐蚀性强，使用寿命长。该系统不需要过度清洁，可以方便操作多年而不会出现并发症。Inova是一种功能强大且用途广泛的蚀刻工具。先进的安全机构、卓越的精确度和精确度，以及装置的长寿命，确保它是硅行业中最好的工具之一。它是任何微电子器件生产或晶圆制造工艺的理想工具。
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