二手 LAM RESEARCH Inova #293597136 待售

LAM RESEARCH Inova是为精密等离子体蚀刻和灰化应用而设计的蚀刻/灰化设备。它具有先进的PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）系统、双温度能力和广泛的蚀刻或灰化配方。该装置具有出色的均匀性和可重复性,可用于蚀刻或灰化晶片。它还有一个先进的光学照相机，在蚀刻或灰化过程中监视晶片，并允许在蚀刻或灰化条件下实时反馈。Inova 蚀刻器/asher工具被设计为等离子体蚀刻和灰化的低成本、高性能资产。它有一个自动气体密度控制模型，允许精确调整等离子体环境，以便可靠的蚀刻或灰化结果。PECVD设备通过提供精确控制、严格控制的等离子体环境,在晶片上提供均匀的蚀刻或灰度处理。LAM RESEARCH Inova具有双温度功能,用户可以快速轻松地选择蚀刻或灰化应用所需的精确温度。双温度选项允许精确控制蚀刻或灰化过程。Inova还具有先进的光学照相机系统，在蚀刻或灰化过程中监视晶片。这允许对蚀刻或灰化条件进行实时反馈,并向用户提供有关蚀刻或灰化过程的详细信息。LAM RESEARCH Inova提供了广泛的蚀刻或灰化食谱,为用户提供了一系列不同的蚀刻或灰化选项。它还具有自动盒式磁带体系结构,可提高吞吐量、减少停机时间并改进蚀刻或灰化数据的播放。这使得用户更容易微调条件以获得最佳蚀刻或灰化结果。Inova设计用于高温和高真空过程，如等离子体蚀刻和灰化。它旨在提供最高级别的准确性、可重复性和均匀性,同时为用户提供一系列蚀刻或灰化选项。LAM RESEARCH Inova具有先进的特点和配方,是任何蚀刻或灰化工艺的理想选择。