二手 LAM RESEARCH Inova #293597139 待售

LAM RESEARCH Inova是一款为先进半导体器件制造而设计的高性能蚀刻/asher设备。这种最先进的系统是为基板的大批量加工而设计的，具有高通量、密闭腔室的生产设计。它具有气体和等离子体诱导蚀刻的内置能力，非常适合各种先进的蚀刻应用。伊诺娃的腔室设计由两个用陶瓷绝缘体隔开的真空室组成，可以并行处理。此功能可实现优化的吞吐量和最大的流程灵活性。提供了一个额外的离子源腔室，以实现等离子体蚀刻或离子诱导的材料去除。通过其自适应腔室设计，该单元可以实现高水平和低水平的蚀刻配方具有很高的灵活性。机器的硬件包括一个具有激光样各向异性的准直源，提供了最高的蚀刻速率，高效的基板清洗和最高质量的蚀刻轮廓。这与一系列集成模块结合在一起，包括反应室、电源、气体和/或等离子体源、负载/卸载工具、温度和压力控制以及视觉系统。LAM RESEARCH Inova专为快速轻松地装载基材而设计,完全集成的安全资产（包括读卡器）有助于在生产过程中保护工艺配方。Software for Inova平台使用户能够从单个GUI控制模型的各个方面,包括负载锁定控制、配方开发、运行控制和过程优化。该软件还可用于远程监控、故障排除、性能优化和统计过程控制。总体而言，LAM RESEARCH Inova是专门为大批量基板加工而设计的先进蚀刻器/asher设备。该系统硬件和软件的结合，以及集成的安全性和先进的腔室设计，使其成为高级和低级蚀刻配方的理想选择。凭借其多功能性和强大的性能,Inova非常适合一系列高级蚀刻应用。