二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241208 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一种高级气体集群工具（GCT），用于先进的半导体蚀刻应用。此工具用于批量生产和大型加工要求。它能够在各种基板上产生复杂的形状和特征，包括光致抗蚀剂、金属和绝缘体。NOVELLUS Altus GCT利用多个工艺源在工件上产生高纵横比特征和结构。工艺源包括一对单晶片、自偏晶片腔，产生单独定制的感应耦合等离子体羽流（ICP）。这样就可以在较大的蚀刻区域，而不需要额外的源和气体供应系统。自偏晶片室能够同时处理多种基板，可以独立改变每个工件的功率设置和气体流量。这允许对蚀刻轮廓进行精确的过程控制。功率和气体输送也可以根据正在加工的材料和所需的蚀刻轮廓进行调整。LAM RESEARCH Altus GCT还配备了控制和计量设备以确保一致性。采用单一光谱仪监测蚀刻物种类，量化工艺的均匀性。该系统使用照相机和双视图光学器件来测量气流、腔室压力和蚀刻速率。Altus GCT具有高度自动化的工艺配方创建和验证单元,适用于所有蚀刻层和特征形状。此机器可确保蚀刻轮廓符合每个基板所需的参数。最后，LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus GCT配备了用户友好的图形用户界面。这样可以方便地进行参数调整和过程控制。操作员还可以使用GUI实时监控操作状况和审核蚀刻结果。NOVELLUS Altus是半导体行业高级蚀刻应用的高端工具。它能够在单个或多个基板上提供卓越的蚀刻效果，并且设计用于批量生产和大型加工要求。它具有高度自动化的流程配方创建和验证工具、双视图光学、光谱监控和用户友好的GUI。