二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241282 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一种用于半导体制造过程的先进沉积反应器。它是为高通量和精确薄膜而设计的单室系统。反应堆设计用于电介质、金属和其他材料的沉积。NOVELLUS Altus反应堆利用电子回旋共振（ECR）技术创造了它的等离子体，允许在更受控的环境中进行高温蚀刻。等离子体的高度确保反应物暴露在高能量下，腔室采用独特的多模操作，既能处理低温又能处理高温。单室设计也允许较小的晶圆尺寸，如光子应用中使用的。它能够生产出高度均匀且跨晶片高度均匀的超净涂层。晶圆温度可以在沉积过程中进行调整，从而可以更好地控制最终结果。LAM RESEARCH Altus反应堆还采用智能过程控制，允许用户在整个沉积过程中监控和控制过程参数。该方法可用于优化沉积，确保薄膜在晶片上的最佳均匀性。智能过程控制还确保过程完全可重复,具有均匀的薄膜.Altus是任何寻求提供高精度和重复性的高级沉积系统的人的理想选择。其单室设计使其能够同时处理低温和高温过程，其智能过程控制允许对均匀性进行更大程度的控制。它处理小晶片尺寸的能力使得它特别适合光子应用。