二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270871 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一种先进的反应器，用于薄膜沉积。它是为精确、高性能的薄膜沉积工艺而设计的，能够实现卓越的工艺稳定性和可重复性。这种类型的反应堆被设计用来沉积厚度从几十埃到几百埃不等的薄膜，用于广泛的先进应用。NOVELLUS Altus反应堆采用ARC技术，代表先进的、可重复的腔室技术。该技术优化了室内的化学环境，提供了可重复、均匀的结果。它包括多区温度控制、低压前体和气体沉积通量高度均匀分布等特点，为等离子体辅助化学气相沉积（又称PECVD）创造了理想的环境。使用LAM RESEARCH Altus反应器的主要优点是沉积过程的精确度和薄膜质量和厚度的一致结果。反应堆还具有高端数据采集系统，具有对压力、温度、气体成分、沉积速率等工艺参数进行实时监测的选项，使用户能够优化其工艺。阿尔特斯反应堆是一种通用工具，可用于多种工业和应用。它的精确度和可重复性使其成为电子、能源和医疗工业的理想选择，因为精确的薄膜沉积是至关重要的。其他应用包括MEMS、能量收集和可穿戴设备。LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus反应堆是一种可靠且具成本效益的工具，已被大量应用。其精确和可重复的结果已被用于从电子到医疗再到能源的许多行业。其坚固的设计和可靠的性能使其成为先进薄膜沉积工艺的绝佳选择。