二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293650146 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Altus Max是一种原子层沉积（ALD）工具,旨在使工艺工程师达到先进设备制造所需的高质量结果。Altus Max工具因其创新的设计和全面的自动化功能而专为高生产率和低拥有成本而设计。Altus Max是一个包含真空和沉积驱动器的工艺室。该室最多可容纳两个反应堆，能够同时运行多个室。该系统还实现了全机器人自动化，能够在不中断生产周期的情况下进行腔室、晶片和组件的模块化交换。Altus Max系统的主要特点是能够使用ALD沉积高质量薄膜。这个复杂的过程涉及晶圆表面上两个独立前体的顺序分层。前体可以是自组装单层（SAM）或汽化汽化前体。为该工具开发的软件可实现逐层精度和可重复的过程性能。Altus Max采用的ALD工艺用途极为广泛,可以量身定制,以满足各种应用的技术需求,如高级封装、内存设备和MEMS组件。刀具的生产率介于30-1000晶圆/小时之间,可轻松提高产量。Altus Max是一种可靠的工具,具有可靠的工艺结果记录。该软件具有用户友好的界面和全面的报告功能,并且所有组件的设计都是为了延长使用寿命,且维护最少,因此,即使是大批量生产,其拥有成本也很低。Altus Max是NOVELLUS系列产品中功能强大且可靠的工具,旨在确保高质量的结果和可重复的工艺性能,适用于研究和生产应用。它为制造先进设备提供了可靠、经济高效的方法,并带来了真正的投资回报。
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