二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是为生产环境而设计的强健反应堆。它是一种先进的设备，利用先进的真空平台提供无与伦比的性能、效率和可靠性。其创新设计采用集成矢量系统，将气体和等离子体分散在较大的表面积上，以增强均匀性。该单元完全自动化，并配备了先进的诊断和实时流程监控功能。其精密的控制机器能实现精确的热平衡、压力控制和室内清洁。NOVELLUS Concept 3 Vector Express非常适合高效薄膜沉积。它包括射频发生器、泵接口、量身定制的工艺室排气、等离子体诊断和完全自动化。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Express的显着特点是其集成矢量工具。这是一组强大的气体控制梯级，在目标基板表面均匀分布等离子体和其他气体。这增强了薄膜均匀性，即使在反应性过程中也是如此。它还增加了底层时间并提高了整个过程的效率。创新的过程气体控制资产提供快速的响应时间，气体成分的精确控制，改进模型清洁度。它确保保持整个腔室的最佳环境平衡，从而提高材料质量。设备的先进诊断还能够实时分析等离子参数和基材质量。Concept 3 Vector Express采用耐用材料制造，对化学腐蚀和热蚀具有优异的抵抗力。这使得系统能够处理各种各样的生产过程。它还具有集成的安全系统和内置功能,以降低维护成本。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一个卓越的反应堆，旨在提高生产率和可靠性。其先进的过程气体控制单元，集成的矢量机，和复杂的诊断允许精确的基板沉积和控制的过程条件。其耐用材料和综合安全系统可确保长期性能和可靠性。这使得它成为生产环境的一个有吸引力的选择。