二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一款高性能的批式反应堆设备，在晶圆的生产中提供无与伦比的过程控制和均匀性。该系统有一个自动化界面，允许用户随着流程需求的变化轻松设置和修改设置。它具有多腔室和灯丝加热功能，可精确控制工艺温度，显着提高晶圆产量和均匀性。Vector Express采用精确控制的加热和冷却体系结构,可提供精确且可重复的放电和蚀刻。该装置有一个独特的矩形腔室，具有集成的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）功能，能够以最小的热损害逐层堆积晶圆。利用高频功率和飞行时间质谱的结合，可靠地调节晶圆膜性能。这个独特的反应堆允许高吞吐量的批处理过程，可以运行长达七天，没有任何中断。它还利用多个气柜，使排气过滤，以确保最高质量的结果。Vector Express有一台高效的排气机，通过使用压力和温度测量的组合，将晶圆表面的颗粒损失降至最低。该工具还包括一些有助于防止任何潜在污染或结构问题的安全和监测功能。这些特点包括光学对准验证、任何易燃气体释放的泄漏监测资产，以及维持晶圆表面温度均匀性的温度监测模型。总体而言，NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一个可靠、高性能的反应堆，提供过程控制和均匀性、高吞吐量、精确晶圆堆积以及增强的安全性和监控功能。它利用先进的技术,使用户能够准确控制温度和蚀刻,并快速产生可重复的结果。依靠Vector Express，生产线可以提高工艺产量，降低成本。