二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029 待售
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ID: 9257029
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
System, 12"
Process: Advanced ashable hard mask
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user: Interface flat panel
Right load lock pump
Express load lock pump
Light tower audio buzzer
Wall / Flash mount
Atmospheric robot: Friction end effector
Options:
Signal tower
IMM Readiness option over left load lock
Third FOUP
(3) FOUP RF ID readers
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display
Heated process manometer
Leak check shut off valve
No HDD
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一种用于高精度应用的电阻蚀刻反应器。此高级工具提供了对蚀刻参数的卓越控制,即使在复杂的设计中也能实现更精细的蚀刻几何形状。Vector Express具有250毫米晶圆容量,能够以高吞吐量速率运行。此外，它还配置了一个Endurium™的连接设备，提供了一个高度可靠的过程连接晶片和真空卡盘。vector express配备了一个可定制的机器人手臂，可以在蚀刻过程中精确定位。这种机器人臂与endurium™粘合系统耦合，在X、Y、Z轴上最多可以移动30毫米。该工具还提供了一个3D扫描头，可以很容易地感知晶圆形状和相应调整蚀刻轮廓。Vector Express有一个集成的控制单元，允许用户对蚀刻过程进行多步骤编程，允许微调精度和过程控制。此外，其集成的双（等离子体和偏置）源和双射频发生器使用户能够蚀刻非常复杂的三维模式，线宽很小，角可调性也不影响各向同性蚀刻特性。该机器还提供了良好的过程重复性。这是由于增加了两个用作净化室和排气室的室。这有助于减少腔室污染，并随着时间的推移提高工艺稳定性。这些附加功能及其多用途的源配置为用户提供了卓越的性能和过程灵活性。此外,其紧凑的设计和强大的性能使Vector Express成为精密蚀刻工艺和应用的理想选择。
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