二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一种高度先进的反应堆，专门设计用于将介电材料层沉积到半导体晶片上。这种创新的设计提供了一致统一的高吞吐量,使其能够满足最苛刻的生产要求。Vector Express具有两个不同区域的两级等离子体反应堆。第一个区域是可以在低功率和高功率水平上操作的高真空区域。该腔室中的高功率能提高沉积速率和材料沉积均匀性。第二个区域是低真空区域，旨在尽量减少污染并提供均匀性控制。Vector Express中的第三个区域是排气区域，设计用于在处理过程中完全隔离晶片，并帮助从系统中清除任何不需要的颗粒和气体。Vector Express反应器由四个主要部件组成：预热器/退火器后室、偏置溅射器、电子回旋共振室和真空真空室。预热器/退火器室分别在偏置溅射过程前后使用红外灯和热氮气加热晶片。偏置溅射室装有静电场，以低功率水平轰击晶片，允许沉积精确而均匀的材料层。电子回旋共振室利用高频无线电波激发环境气体中的原子，产生可用于沉积极化特性异常的介电材料的等离子体环境。最后，真空室被用来为整个过程提供一个极清洁的环境，确保沉积物料的污染最小。来自NOVELLUS的NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一个革命性的反应堆，可以在半导体晶片上提供快速精确的电介质沉积。这种先进的设计大大减少了生产具有高均匀性的可靠芯片组所需的时间和资源。Vector Express能够在低功率和高功率水平上运行，从而提高沉积速率和提高沉积材料的均匀性，使反应堆能够满足最苛刻的生产要求。Vector Express利用静电场、射频波和清洁环境,能够提供高度均匀的材料沉积,从而生产出可靠、高性能的芯片组。