二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9294929
CVD System, 12"
Process: PESiN
VAT 075 Slit valve
VAT Pendulum valve
Signal tower
MC3 Module controller
EMO
Host interface: SECS
LCD Monitor, 12"
Process module:
Chamber body
Chamber process: PESION
Process clean type: RPC
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Pod loader
MC3 Module controller
SMC Load lock slit valve
C2027-D01 Trust controller
VAT Pendulum pressure control valve
VAT 075 ATM Load lock valve
AX7645 RPC Generator
Servo spindle lift
ADVANCED ENERGY APEX-5513 HF Generator
CLX2500 LF Generator
Navigator 10013 RF Match
LTM Assembly, P/N: 02-169180-01 Rev E
RF Interface B/D, P/N: 26-164535-00
Chamber gas box:
MFC Number / Name / Size / Make / Model
MFC 1 / SiH4 / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 2 / N2O / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 5 / He / 20 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 6 / NH3 / 1 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 7 / N2O / 25 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 8 / O2 / 30 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 9 / NF3 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC A / N2O / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC C / Ar / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC D / N2 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
Missing parts:
Load lock dry pump
Turbo molecular dry pump
Module dry pump
UPS Power: 120 V, 3 Phase, 3-Wires
Power supply: 208 V, 3 Phase, 5-Wires
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一个革命性的等离子体处理反应堆，旨在提高半导体器件制造的容量和吞吐量。Vector Express反应堆采用创新架构，使复杂生产任务的性能最大化。它利用了四个独立的等离子体管，每个等离子体能够提供等同于全尺寸等离子体蚀刻室的高功率等离子体。这些等离子体管集成到最先进的设计中,可以缓冲过程,从而实现更高效的事件计时、更好的周期时间和最小的维护。此外，Vector Express还配备了一个车载气体歧管，直接向等离子体源供应惰性和反应性气体。此功能支持更精确的流程参数,并允许更长的操作时间,从而提高吞吐量和更好的可重复性。Vector Express还配备了一个极其坚固可靠的感应板,它能够在工艺后冷却期间承受热冲击,并提供出色的均匀性蚀刻结果。最后，该反应堆配备了一个新的、革命性的压力控制系统，其作用是确保燃烧室始终在最佳压力环境下运行，从而提高产量和提高产品质量。NOVELLUS Concept 3 Vector Express确保了用于半导体器件制造的可靠、高性能的等离子体处理解决方桉。
还没有评论