二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel #9410421 待售
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ID: 9410421
晶圆大小: 12"
优质的: 2000
USG Deposition system, 12"
(2) Load ports
(12) Boxes
Main frame
(2) Chambers
2000 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是一种先进的沉积反应器，旨在为高性能材料提供精确高效的薄膜层沉积。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是使用NOVELLUS开发的专有Vector Sequel技术的一系列反应堆设计中最新的。这一技术基于矢量流沉积原理，利用受控的沉积气体、汽化源材料和基板输入组合，形成一层高度均匀和精确的薄膜材料。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel的机械设计是一种模块化、开放式的格式，允许快速、方便的重新配置和维护。它具有一个用于创建多个工艺室的沉积室和可与该室集成的各种工艺工具。这些工具由质量流控制器、无功开关、双反应歧管和PID控制器组成。Concept 3 Vector Sequel还利用一个专门的基于计算机的用户界面（GUI），用于显示和控制反应堆的运行参数。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel的设计提供了广泛的工艺参数，可用于将沉积工艺定制到各种应用中。这包括改变材料沉积速率、温度和工艺压力的能力，以及为最佳薄膜层沉积设定曝光时间和停留时间的能力。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel反应堆的整体灵活性允许沉积广泛的材料，包括氧化物、盐和金属。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel还包括许多其他高级功能,如高温选项、室内清洁选项,以及配有内联和原位气体分析仪的平衡气体供应,用于监测工艺条件。Concept 3 Vector Sequel结合了先进的沉积技术、高端材料和工艺灵活性，是一款功能强大、用途广泛的薄膜层沉积工具。最后，LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是一种用途广泛的沉积反应器，提供了多种优化薄膜沉积的处理方桉。其模块化设计、先进的工艺工具和用户友好的计算机界面，使其成为满足各种薄膜沉积需求的有吸引力的解决方桉。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel具有高效的性能、广泛的材料和精确的控制,是研究和生产环境中的理想沉积工具。
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