二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261720 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector是一种反应堆，设计用于处理化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）等各种工艺应用。这种先进的CVD/ALD反应堆具有三区热环境，能够通过三个加热和冷却板来调整工艺条件。NOVELLUS Concept 3 Vector设计有低压等离子体源，具有13.56 MHz的感应耦合等离子体（ICP）配置。这样可以产生均匀的等离子体和低紫外线辐射，以提高过程的可重复性，并具有一致的粒径和沉积成分。LAM RESEARCH Concept 3 Vector实现了快速的工艺室疏散，减少了工艺周期所需的时间，减少了薄膜的粗糙度。此外，Concept 3 Vector具有优越的反应气体分配系统，通过均匀的反应气体输送提供优越的质量膜。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector也设计了超低氧化系统。它利用三层线圈降低氧化物性能和低拥有成本。此外,NOVELLUS Concept 3 Vector采用先进的热电模块进行设计,确保目标温度区域快速,温度匹配,具有可重复性和准确性。LAM RESEARCH Concept 3 Vector的可编程逻辑控制器（PLC）提供高性能的过程控制，允许精确且可重复的过程配方。其出色的设计使Concept 3 Vector成为光伏太阳能电池、薄膜晶体管、栅极电介质等材料加工的理想选择。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector提供出色的胶片均匀性,同时仍提供快速的处理时间和卓越的过程重复性。其革命性的设计也使其成为超高密度存储器、微机电系统（MEMS）铸造厂和BiCMOS晶片的绝佳选择。凭借其卓越的功能,NOVELLUS Concept 3 Vector提供了改进的设备性能和提高的生产产量。LAM RESEARCH Concept 3 Vector是各种制造工艺的有效反应器。