二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261722 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector（C3V）是一种业界领先的等离子体反应堆技术，旨在生产用于半导体器件制造的高质量反应离子。这项技术能够在高沉积速率下产生高能离子，从而在大面积上实现超高沉积均匀性。C3V反应堆由一个由一系列圆形栅格和通道包围的马蹄形主室组成。主室中央是施加电场的环形阴极。离子在这种电场中是由一种中性气体，例如氙对阴极的冲击产生的。这些离子随后被引导穿过其中一个圆形栅格，并通过一系列强度和长度变化的脉冲场进行引导。这个精心编排的脉冲场序列使C3V反应堆能够以极均匀的方式产生高能离子束。为了使其性能最大化，C3V反应堆配备了有助于消除电场产生热量的冷却系统，以及在整个腔室内保持均匀工艺条件的自动压力调节系统。此外，C3V还具有多个独立的检测系统，可实时测量离子束的能量、种类和强度，以确保沉积均匀性和可重复性。C3V除了具有高性能外,还易于维护和操作,是各种制造应用程序的绝佳选择。反应堆先进的控制系统还允许远程监控，所有运行参数都可以调整以达到最佳工艺性能。总体而言,C3V运行高效可靠,可提供高产率的大面积沉积均匀性、产量和生命周期性能。C3V反应堆是许多半导体制造工艺的行业领先解决方桉。