二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector是为全球半导体制造行业设计的等离子体增强化学气相沉积反应器。它是为满足先进技术节点最严格的需求而构建的,提供了无与伦比的性能。NOVELLUS Concept 3 Vector融合了独特的高长宽比淋浴头和蚀刻管架构，使其能够以出色的吞吐量处理尽可能小的特征几何形状。设计的均匀性和先进的腔室设计提供了高度的可重复性,使客户能够降低最终产品缺陷率并简化其生产需求。LAM RESEARCH Concept 3 Vector利用灵活的射频电源,具有全面的电源控制、吊坠、断气分馏和预播种功能。它提供了无与伦比的多功能性，可以配置为与各种腔室、腔室大小和基板材料配合使用。Concept 3 Vector旨在满足当今先进技术节点的最高工艺温度和温度均匀性要求。它还包括先进的冷却技术,允许严格的过程控制,确保最高的产品质量和产量。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector还提供了广泛的气流灵活性。Vector利用其全面的气体管线和分配技术,可以精确地管理每一个形成膜的前体,并需要支撑气体,从而易于调整到广泛的过程。最后,NOVELLUS Concept 3 Vector具有全面的诊断和嵌入式工具,使用户能够在最高控制、准确性和一致性级别上优化其流程。LAM RESEARCH Concept 3 Vector从气线控制和温度剖析到过程优化和预测维护功能,为客户提供了推动创新边界所需的工具。