二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT One-150 #293821999 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT One-150是一种多室反应器，设计用于半导体工业中薄膜材料的高通量沉积。它以4800 x 2400 mm的占地面积提供多达150个工艺室,提供业界领先的沉积吞吐量速度、高工艺一致性和优化的设备配置。NOVELLUS CONCEPT One-150反应堆基于明暗交替室多室配置的概念，暗室充当缓冲和反应物室。缓冲室用于通过允许过程种类在整个腔室中均匀积累和流动来维持过程均匀性。反应物室提供了薄膜沉积层所需的额外反应物种类。NOVELLUS反应堆具有几种先进的处理能力。这些包括高达1100 °C的高温处理和高达1000 mTorr的压力范围。这提供了以更高的速度和更高的精度处理材料的机会。此外，该系统还具有高通量的薄膜沉积工艺。该单元还包括一个集成的控制机器，允许快速设置，验证和配方管理。控制工具包括用于快速参数设置的直观图形用户界面（GUI），以及详细的配方管理、流程跟踪和操作员日志记录。这样可以确保整个生产运行过程中的工艺参数保持一致并受到控制。除了沉积能力外，LAM RESEARCH CONCEPT One-150反应堆还提供多种其他处理能力。这种反应器也可用于用湿化学蚀刻和离子注入技术处理晶片。此外，机器人资产允许快速和安全的基板转移，以及适应、分类和定位的过程。最后，CONCEPT One-150反应堆被设计为一个开放的平台，为用户提供了易于集成到工厂自动化系统。这确保了反应堆能够集成到完全自动化的生产线中，而不会造成最小的中断。LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT One-150反应堆具有先进的加工特点、高通量速度和集成控制模型,是半导体工业中薄膜沉积的理想工具。