二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9079785 待售
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ID: 9079785
晶圆大小: 6"
CVD (Tungsten) Systems, 6"
Generators
Pumps
Currently installed in fab, powered down.
LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE是由NOVELLUS和LAM RESEARCH Systems开发的全球联合品牌反应堆。它是一种300毫米（12英寸）先进的步进重复设备，专为高生产率、精密蚀刻在微光刻领域的应用而设计，例如在半导体器件制造中。NOVELLUS CONCEPT ONE使用高速、高温、远程等离子体源，可移动到整个基板表面。这允许高精度的图样和蚀刻特性,与快速处理时间.高精度的独立卡盘机构可实现复杂的图样设计,空气轴承组件可提供卓越的运动,而不会因热循环而降低零件性能。LAM RESEARCH CONCEPT ONE配备了多种配件，使系统适合不同的蚀刻应用。首先，冷却系统包括用于冷却晶片和电极的高容量液氮子系统。这提供了精确的温度控制和出色的均匀性。其次，该机组配备了"掺杂氧化物"射频发生器，在等离子体中产生均匀的电场，用于精确控制蚀刻工艺参数。第三，光学系统包括高分辨率摄像机，用于对基板上的目标图样进行高精度对准。CONCEPT ONE还拥有一套车载计量工具，用于实时测量蚀刻工艺性能。其中包括实时激光扫描仪、边缘轮廓监视器和缺陷检测器,用于评估蚀刻过程的有效性并提出任何问题,如模式保真度、模内蚀刻轮廓、蚀刻速率等。此外，LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE配备了一套监控功能，提供车载视觉和音频信号，提醒操作员注意潜在的流程问题。NOVELLUS CONCEPT ONE为用户提供了针对其特定的满足和蚀刻应用需求而量身定制的高级交钥匙蚀刻和光刻解决方桉。它的自动化过程控制软件负责处理所有参数并监控蚀刻过程,确保最佳执行、提高产量和可靠性,并最大限度地减少停机时间。总体而言，LAM RESEARCH CONCEPT ONE是一款先进、健壮且高度可靠的蚀刻机，适用于广泛的蚀刻和光刻应用。其板载计量工具阵列、自动化过程控制软件、高度精确的图样、温度控制和独立的卡盘机构，使其成为高生产力、精密蚀刻应用在微光刻领域的理想解决方桉。
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