二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9364618 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE是一种多区、高性能的批式反应器，设计满足各种薄膜沉积和工艺要求。NOVELLUS CONCEPT ONE构建在一个强大的平台上，提供可重复的均匀性和精确的物料流控制。它由几个集成组件组成，包括一个加工室、晶圆转移机器人和一个控制设备。该工艺室设计用于在密封反应区内容纳和循环工艺气体，以提供更好的膜均匀性。该室还配备了顶部铰链门，便于维修和维修。晶圆转移机器人以自动化方式将半导体晶圆运输到整个工艺室中，以尽量减少暴露于有害气体的时间，同时确保在每个晶圆上的薄膜沉积准确。控制系统是一套完全集成的软硬件组件，旨在监视和控制过程的各个方面。它可以被编程为自动调整参数以优化胶片的均匀性、吞吐量和可重复性。LAM RESEARCH CONCEPT ONE提供了实现高质量、高通量薄膜沉积所必需的所有功能。该工艺室配有高压气体分配装置，能够有效溷合沉积气体并增强膜均匀性。利用加热的敏感器式晶片处理机，减少界面污染，改善基材粘附。所有组件都与控制工具集成在一起，该工具可自动适应每层沉积的温度、气流和压力。闭环多区间歇反应器允许精确控制工艺条件，从而允许从晶圆到晶圆的最佳薄膜性能。此外，该资产可以很容易地适应其他工艺应用，如蚀刻，纳米结构和光子器件制造。CONCEPT ONE为许多薄膜沉积工艺提供了可靠、用户友好且高效的解决方桉。其尖端特点、均匀性和可重复性使其成为任何希望外包薄膜沉积的公司的理想选择。