二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE XT反应堆是一种高精度、低压等离子处理设备，专为先进的半导体制造工艺而设计。通过使用射频等离子体和升高的底物温度，该反应器能够进行表面改性和蚀刻过程。NOVELLUS SABRE XT反应堆建立在生产级平台上，配备了专有的射频源技术，实现了出色的工艺重复性和控制性，并提高了等离子体均匀性。实现了出色的表面质量和对蚀刻工艺的次埃控制。基板由石英加热器板加热，能够达到1000 °C的温度。通过直列式气箱将工艺气体引入蚀刻室。燃气箱线路与GGA（燃气表总成）相连，配有气体流量计、隔离阀和快速连接配件，便于维护。该反应堆设计用于批量加工，最多可同时加工四种底物。LAM RESEARCH SABRE XT还配备了低维护负荷锁和卡带处理器，以及一个温控过程气体分配箱。该系统还有一个精密的自动化控制单元，用于监控流程参数，从而实现更快的处理时间、更高的产量以及更高的流程可重复性和稳定性。该机先进的性能、控制和处理一致性使SABRE XT反应堆成为先进半导体生产的经济高效、可靠的蚀刻解决方桉。其低压等离子体源、石英加热器板、均匀的温度分布和在线气体处理使其成为纳米级器件制造的理想选择。
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